伯东企业（上海）有限公司

型号

HiPace® 30,TC 110
DN 63 ISO-K

HiPace® 30,TC 110
DN 63 CF-F

HiPace® 30,TC 110,
DN 40 ISO-KF

分子泵图片

复合轴承

陶瓷球轴承

Ar 压缩比

> 1 X10¹¹

H₂ 压缩比

3 X10⁵

He 压缩比

3 X10⁷

N₂ 压缩比

> 1 X10¹¹

标准冷却

对流

可选冷却

风冷, 水冷

冷却水消耗

75 l/h

冷却水温度

5-25 °C

电子驱动

TC 110

进气法兰

DN 63 ISO-K

DN 63 CF-F

DN 40 ISO-KF

排气法兰

DN 16 ISO-KF, G ¼"

最大预抽真空, N₂

24 hPa

全转速时气体流量, Ar

0.22 hPa l/s

全转速时气体流量, H₂

10 hPa l/s

全转速时气体流量, H_e

1.84 hPa l/s

全转速时气体流量, N₂

0.66 hPa l/s

通讯接口

RS-485, Remote

安装方式

任意位置安装

操作电压

24 (± 5 %) V DC

允许最大磁场

3 mT

保护类型

IP 54

IP 54

IP 30

抽速 Ar

32 l/s

32 l/s

20 l/s

抽速 H₂

20 l/s

20 l/s

19 l/s

抽速 H_e

24 l/s

24 l/s

23 l/s

抽速 N₂

32 l/s

32 l/s

22 l/s

转速 ± 2 %

90,000 rpm

启动时间

1.7 min

极限真空

< 1X10^-7 hPa

< 5X10^-10 hPa

< 1X10^-7 hPa

放气接口

G 1/8"

重量

2 kg

3.2 kg

2 kg

分子泵资料下载

中文 PDF
英文 PDF

中文 PDF
英文 PDF

中文 PDF
英文 PDF

分子泵 HiPace 10

分子泵 HiPace 60 P

分子泵 HiPace 80